تتضمن الأجهزة الدقيقة المستخدمة في تكنولوجيا النانو:
1. المجهر الالكتروني النفاذي (TEM) والمجهر الالكتروني الماسح (SEM) والذي تستخدم لرصد الهيكل الداخلي والمظهر السطحي للمواد النانوية.
2. الطيف الضوئي (spectroscopy) والذي يتيح للعلماء دراسة الخصائص الكيميائية والفيزيائية للمواد النانوية.
3. المجهر القوي البؤري (AFM) والذي يتيح للعلماء رصد الخصائص التصويرية العالية الدقة للأسطح النانوية.
4. المجهر العنقودي (CLSM) والتي تستخدم في توجيه عملية التصميم الجزيئي للأغشية النانوية والكشف عن الأخطاء فيها.
5. الليزر والأشعة تحت الحمراء والأشعة فوق البنفسجية والأشعة السينية والتي تستخدم في دراسة المواد النانوية وبناء آلات وتقنيات لتصنيعها.