تختلف مكونات أجهزة القياس الآلية حسب نوع الجهاز وغرضه ولكن بشكل عام فإنها تتكون من ما يلي:
1- مستشعر القياس: وهو العنصر الذي يقوم بتحويل الظاهرة المراد قياسها (مثل الحرارة أو الضغط أو التدفق) إلى إشارة كهربائية.
2- المعالج: وهو الجزء في الجهاز الذي يقوم بتحليل الإشارة الكهربائية التي تم إنتاجها من المستشعر وتحويلها إلى قيمة قابلة للقراءة والتحليل.
3- العارض: وهو الشاشة الخارجية للجهاز التي تعرض القيم المقاسة أو النتائج المستخرجة من الإشارة الكهربائية وتمكن المستخدم من قراءتها.
4- الوحدة المعالجة المركزية: وهي الأجزاء التي تدير عملية القياس وتحليل البيانات وتعمل كوحدة تحكم في كل مراحل عمل الجهاز.
5- الجهاز التحكم: وهو الجزء الذي يسمح للمستخدم بتحديد الإعدادات والخواص المطلوبة لأداء الجهاز.
6- الطاقة: وهو الجزء الذي يزود الجهاز بالطاقة اللازمة لأداء وظائفه. ويمكن أن يتم التزود بالطاقة عبر بطاريات أو كابلات الكهرباء.